铌酸锂黑片
铌酸锂(LiNbO3)是一种适用于多种应用的铁电材料。它的通用性是由于其固有材料的优良的电光、非线性和压电特性而成为可能的。
这种还原技术被用于生产黑色的铌酸锂(LiNbO3)，即使电势瞬间发生，它也有很高的中和电荷的能力。铌酸锂晶片的热释电效应基本消除，透光率明显降低。黑色铌酸锂晶片的压电性能与标准晶片没有什么不同。因此，黑色还原铌酸锂圆片被广泛用于制造高频表面声波器件。
上海礴钛光电可以提供3"，4"和6"黑色铌酸锂晶圆，用于所有的切割角度。用于128°Y、X和Z切割，直径达8英寸。
这种还原技术被用于生产黑色的铌酸锂(LiNbO3)，即使电势瞬间发生，它也有很高的中和电荷的能力。铌酸锂晶片的热释电效应基本消除，透光率明显降低。黑色铌酸锂晶片的压电性能与标准晶片没有什么不同。因此，黑色还原铌酸锂圆片被广泛用于制造高频表面声波器件。
上海礴钛光电可以提供3"，4"和6"黑色铌酸锂晶圆，用于所有的切割角度。用于128°Y、X和Z切割，直径达8英寸。
规格特性
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直径 |
76.2±0.2mm |
100±0.2mm |
150±0.2mm |
200±0.2mm |
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主平台 |
22±1mm |
32±1mm |
47.5mm, 57.5mm, Notch |
57.5mm, Notch |
| 还原 | 标黑、超黑或按要求定制 | |||
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切型 |
X / Z / Y41° / Y64° / Y128° / YZ / YX | |||
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厚度 |
0.20mm~5.0mm |
0.25mm~5.0mm |
0.35mm~5.0mm |
0.35mm~5.0mm |
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表面处理 |
单面抛光、双面抛光、研磨 |
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TTV |
< 1~5µm |
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BOW |
± (20µm ~40um ) |
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Warp |
<= 20µm ~ 50µm |
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LTV (5mmx5mm) |
<1.5 um |
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PLTV(<0.5um) |
≥98% (5mm*5mm) 边缘 2mm除外 |
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主面 Ra |
粗糙度 Ra<=5A |
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背面处理 |
粗糙度 Ra:0.5-1.0µm, GC#1000 |
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S/D |
20/10, 40/20, 60/40 |
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边缘 |
按照 SEMI M1.2@with GC800# . C 型 |
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裂缝、锯痕、污点 |
无 |
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