钽酸锂
钽酸锂具有优良的压电、铁电、声光及电光效应，广泛用于谐振器、滤波器、换能器等电子通讯器件，及高频声表面波器件。
材料特性
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材料 |
3" 4" 6" 钽酸锂晶片（声表级/光学级） |
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切型 |
X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ 可定制切角 |
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居里温度 |
605°C±3°C |
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掺杂 |
Fe 铁 |
加工能力
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表面处理 |
单面抛光/双面抛光/单面研磨/双面研磨 |
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厚度 |
0.18/0.25/0.35/0.50/1.00 + mm |
0.25/0.35/0.50/1.00+mm |
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TTV |
< 1~5µm |
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BOW |
± (25µm ~40um ) |
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Warp |
<= 35µm |
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LTV (5mmx5mm) |
<1.5 um |
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PLTV(<0.5um) |
≥98% (5mm*5mm) 边缘2mm除外 |
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边缘 |
符合 SEMI M1.2@with GC800# .regular at C typed |
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定向平台 |
根据要求定制 |
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抛光面 |
粗糙度 Ra<=5A |
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反面 |
粗糙度 Ra:0.5-1.0µm GC#1000 |
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倒角 |
符合 SEMI M1.2 Standard/refer to IEC62276 |
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裂缝、锯痕、污渍 |
无 |
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