压力传感器用压电石英环
压电石英环由单晶石英晶体加工而成，具有良好的正/逆压电效应，可用于压力传感器。
我司根据客户要求加工各种尺寸和不同孔径的石英环，拥有良好的同心度。最大外径可达8英寸。切型一般为X-cut，Y-cut，或根据要求定制。
我司根据客户要求加工各种尺寸和不同孔径的石英环，拥有良好的同心度。最大外径可达8英寸。切型一般为X-cut，Y-cut，或根据要求定制。
材料特性
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材料 |
压电级和光学级单晶石英 |
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Q 活力值 |
最小 1.8x10^6, 2.4x10^6 to 3.0x10^6 IEC standards |
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腐蚀隧道密度 |
最大 2 /c㎡， 10/c㎡, Max 30/c㎡, Max 100/c㎡, Max 300/c㎡; Swept Quartz |
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包裹体 |
Ia, Ib, I, II, III 等级 |
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电清洗 |
Both Pure Z and Y Bar available，可选电清洗材料 |
加工能力 processing capacity - wafers
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直径 |
3”(76.2mm) |
4”(100mm) |
6”(150mm) |
8”(200mm) |
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厚度 |
0.08mm Min-up |
0.10mm Min-up |
0.20mm Min -up |
0.35mm Min- |
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主平台 |
22mm |
32mm |
42.5mm |
57.5mm or notch |
| 打孔 | 根据需求定制孔径 | |||
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表面处理 |
LTV (5mmx5mm) |
<1.5µm |
TTV |
<1.5~3 µm |
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Bow |
-30<bow<30 |
Warp |
<40µm |
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Surface Type |
SSP / DSP |
Edge Criteria |
R=0.2mm or Bullnose |
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Polished side Ra |
<0.5nm 或按要求 |
Back Side Criteria |
通常是 0.2-0.5µm 或按要求 |
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